功能

Ø 测试外延片 PL 信号的单光谱

Ø 测试外延片 PL 信号的多光谱

Ø 测试积分 PL 信号强度

Ø 测试全正片全光谱 mapping 数据

Ø 外延层厚度 mapping 测试

Ø 光谱反射率,VCSEL 和 Bragg 镜测试

Ø 激光散射表面 mapping 测试

Ø 外延片翘曲度测试(选配）

标准特性

· 晶圆尺寸可达 8inch 或小片

· 2inch 片在 2mm 空间分辨率下可达 80wph 产能

· 可选全自动晶圆取放装置,最多配备 3 个晶圆盒

· 快速 R-T 平台,可以整片扫描或定点测试

· 科研级 300mm 聚焦长度单色仪

· 大范围孔径选择,既可适应高效率光子收集,也可适应超低发光收集

· 多达 4 个激光器（2 个内部激光器，1 个二极管激光器和 1 个外部激光器）从 213 纳米到 1064 纳米的激发波长范围内响应

· 多达 3 个光栅用于高分辨率光谱 PL 映射

· 多达 2 个探测器覆盖 200 nm 至 2.6μm

· 集成的白色光源用于测量厚度和反射率

· 高速非光谱映射模式@ 2000 pps

· 高速光谱映射模式@ 200 pps

可选特性

· 晶圆 bow 测量

· Accucolor®真正的 LED 颜色测定

· Overview ®MOCVD 模拟统计

· 多个 PL 峰值统计