品牌：Nordson March（美国）

March AP-1000等离子清洗系统

生产环境要求苛刻的等离子系统

March AP-1000等离子清洗系统，是专门设计适应24小时生产的严格要求的情况。此系统提供统一的等离子体，具有优良的可靠性、安全性及操作简单等优点。

AP-1000平台是完全独立的，因此要求最小的层空间。泵、处理腔体、电子控制和13.56MHz电源供应都被安装在一个单一的外壳内。前面开门使得存取组件都很便利。泵安装在便于拆卸的滚筒上。

特征与优势:

1. 触摸屏的PLC控制，提供了形象的图形界面和实时过程显示；

2. 实时显示工艺过程，数据时时可调, 可存64个程序；

3. 四种清洗模式：强洗、弱洗、无电子清洗、取胶；

4. 可用来清洗敏感，易粹器件；

5. 灵活的支架结构允许处理多种部分，在水平或竖直模式下；

6. 13.56MHz的电源具有自动阻抗匹配功能，因此具有出色的过程重复性；

7. 专利的控制软件系统为统计过程控制产生过程和产品的数据；

8. 双重真空吸尘，强力清洗，铝制清洗室，免污染。

品牌：Visionsemicon（韩国）

品牌：DIENER（德国）